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北京元芯碳基集成电路研究院

作者:管理员 日期:2020-07-06 人气:169

Etelux伊特克斯Lab2000厌氧真空手套箱非标定制

手套箱

水≤1ppm

氧≤1ppm

泄漏率:≤0.001vol%/h

加热烘箱

尺寸:400mm × 400mm × 250mm (L × H × D)

加热温度:室温至100℃

控温精度:±1℃

特点:内部舱门设计,开启方便。

制冷系统

尺寸:400mm × 400mm × 425mm (L × W × H)

制冷温度:-6℃ — 5℃

控温精度:±1℃

温度回差:4℃

特点:冷阱上部加密封盖(可承重),盖上设置把手方便打开,冷阱盖上密封盖后与手套箱底部水平。

箱体
描述

材料:不锈钢 type 304 厚度 3 mm

尺寸: 1800mm(L) x 750mm(W) x 900mm(H)

体积1.2m³
前窗

面板:8 mm厚安全钢化玻璃  或 10 mm厚度聚碳酸酯 (可供选择)

尺寸:1735mm(L) x 839mm(H)

手套口

硬铝合金材质或聚甲醛材料 (可供选择)

口径 220 mm, O型圈密封

手套

材料:丁基橡胶

厚度: 0.4 mm 或 0.8mm(可供选择)

过滤器出口和入口过滤器,过滤<0.3μm
照明LED照明位于前窗顶上部
泄漏率

检漏依据 ISO 10648-2 :1994 / EJ/T 1096-1999《密封箱室——第二部分:密封性分级以及相关的检验方法》中的含氧法和压力变化法对箱体进行检测,按照一级密封性< 0.001 vol%/h的标准进行最终验收测试。

GP20气体净化系统
描述

自动去除 H2O 和 O2

单净化柱系统,自动再生(可选GP200双净化柱)

密闭的气体循环管路

使用电压AC 230 V / 50-60 Hz, 10 A 或AC 115 V / 50-60 Hz, 20 A (可供选择)
工作气体

工作气:N2、Ar 、He(纯度≥99.999%)

再生气:H2占5%—10%,其余的为工作气(纯度≥99.999%)

真空泵

规格:旋片真空泵,  配带油雾过滤器, 带气镇控制

流量:12 m³/h (7 cfm), 双基片,真空度< 2 x 10-3 mbar  或干泵(可供选择)

循环单元

无油高速风机

风量:80 m³/h

阀门KF40 高真空阀门
泄漏率

检漏依据 ISO 10648-2 :1994 / EJ/T 1096-1999《密封箱室——第二部分:密封性分级以及相关的检验方法》中的含氧法和压力变化法对箱体进行检测,按照1级密封性< 0.001 vol%/h的标准进行最终验收测试。

控制柜尺寸

600mm(L) x 800mm(D) x 870mm(H)

过渡舱

大过渡舱

材料

不锈钢 type 304, 厚度 3 mm

尺寸φ360mmx600mm(L) 或φ390mmx600mm(L)(可供选择)

真空度

< 1 x 10-2 mbar

小过渡舱

材料

不锈钢 type 304, 厚度 2 mm

尺寸φ150mm x 330mm(L)

真空度

< 1 x 10-2 mbar

数量

左右各一个(用于小件物品的取用)

加热烘箱
尺寸

400mm × 400mm × 250mm L × H × D

加热温度室温至100℃
控温精度±1℃
特点独立内部舱门设计                            ,开启方便
制冷系统(冷阱)
尺寸

400mm × 400mm × 425mm L × W × H

制冷温度5至-6℃
控温精度±1℃
温度回差4℃
特点

冷阱上部加密封盖(可承重),冷阱密封盖上之后与手套箱底部水平,安装把手方便开启。

清洗系统
描述设置好相应时间和压力,系统可以对箱体自动进行气体置换。

分析仪

氧气分析仪

尺寸

205 mm(L) x 80 mm(W) x 60 mm(H)

测量范围

0-1000 ppm

其他氧分析仪

GE oxy.IQ™ Oxygen Transmitter

水分分析仪

尺寸

205 mm(L) x 80 mm(W) x 60 mm(H)

测量范围

0-500 ppm

其他水分析仪

GE VeriDri™ Dew-Point Transmitter

溶剂净化系统

描述

材料: 不锈钢1.4301 (SUS type 304), 厚度 3 mm

内部尺寸: 220mm(Φ) x 450mm(H)

优质活性炭

其他说明
产品认证

ISO9001认证、CE认证、UL认证

质保期一年质保期,终身维修
应用注意事项详情参阅说明书危险、警告、注意等条款
包装尺寸(W×D×H)
重量



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